1.范围和目的
1.1 范围
此标准为元件对规定的人体模型(HBM)确定静电放电(ESD)敏感度的测试、评价、和分类程序。
1.1.1 已有的数据
测试者以前获得的数据，凡符合本标准全部波形条件的，将认为是有效的测试数据。
1.2 目的
这个标准的目的是要建立一个测试方法，此测试方法，不管元件的类型，将重复人体模型（HBM）失效，并且给测试者提供可靠又可重复的结果。其可重复的数据将允许精确的对照HBM ESD敏感度级别。
2. 参考资料
ESD ADV. 1.0术语表1
EOS/ESD—S 5.1 (以前的HBM版本)
EOS/ESD—S 5.2机器模型 (MM)
ESD—S5.2 机器模型 (MM)
3. 定义
下列定义是添加到EOS/ESD术语表中的条款。
3.1 元件
一个对象，如电阴、两极管、晶体管、集成电路或混合电路。
3.2 元件失效
一个被测试的元件不符合一项或多项规定的静态或动态参数数据。
3.3 参数数据
由元件制造厂或使用者提供的元件静态和动态性能数据。
3.3.1 静态参数是元件在非运转条件下测定的参数。可能包括但是不限于：输入漏电流、输入击穿电压、输出高和低电压、输出驱动电流和电源电流。
3.3.2 动态参数是元件在一个运行条件下测定的参数。这些可能包括但是不限于，在一个规定负荷条件下，输出上升和下降时的全部功能，以及动态电流消耗。
3.4 静电放电敏感度 （ESDS）
引起元件失效的ESD级别。
3.5 静电放电耐压
不引起元件失效的最大静电放电级别。
3.6 人体模型（HBM）ESD
一个ESD现象，符合标准中规定的波形条件，近似从典型人体指尖的放电。
3.7 机器模型（MM）ESD
符合机器模型标准S5.2中规定条件的一个ESD现象。
3.8 人体模型静电放电测试器
对一个元件使用人体模型静电放电的设备（在这个标准中归类于“检测器”）。
3.9 激振
高频振荡叠加在波形上。
3.10 步进压力老化测试
一个工艺过程。由于一个元件在受到递增的静电放电电压时，比相似的另一个元件在受到单一电压时的较低级别，能够经受住更高的压力级别。例如，一个元件如果受到单一的压力，可能在一千伏失效，但如果压力起始于低电压，例如250伏，再逐步增加到更高的电压，失效在三千伏。
4.HBM ESDS 元件分级
ESD敏感元件的分类是依照它们的人体模型静电放电（HBM ESD）耐压，而不管极性如何。人体模型静电放电敏感度（HBM ESDS）元件分类级别示于表1。
表1 HBM ESDS 元件分级
级别
电压范围
0
<250
1A
250到<500
1B
500到<1000
1C
1000到<2000
2
2000到<4000
3A
4000到<8000
3B
≥8000
5.必需的设备
5.1 体模型静电放电测试器
符合标准要求的ESD测试器是一个组合设备。（原理图见图1，产生符合波形特性的脉冲规定在图2和3）。
5.2 波形验证设备
设备能够验证本标准中脉冲波形，包括但不限于：一个示波器、二个评估负载、和一个电流传感器。
5.2.1 示波器要求：
a.最小灵敏度为每一主要分区（典型为一个厘米）100毫安培，与之一起使用的电流传感器规定在第5.2.3节。
b.最小单独发射带宽350兆赫。
c.最小记录速度为一个主要分区1纳秒。
5.2.2评价负载。二个检验测试器功能必需的评价负载。
a.负载1：一个实心的18-24个美国线规（0.3到0.1毫米2截面）镀锡铜质短路线，当穿过电流探头时，如同跨越在插座中二个最远插脚之间实际可行的距离一样短。
b.负载2：一个500欧姆，±1%，1000伏特，低感应系数，真空涂电阻（Caddock公司型号MG714或同等产品）。
5.2.3 电流传感器要求：
a.最小带宽350兆赫。
b.峰值脉冲能力12安培。
c.上升时间小于1个纳秒。
d.接受能力1.毫米直径的固体导体。
e.提供第5...节所需要的每毫安培输出电压（通常在每毫安培1和5个毫伏之间）。
泰克(Tektronix)公司CT-1,或符合这些要求和具有的最大电缆长度为1米的同等产品。
6.设备和波形要求
6.1 设备校准
测试器的全部评价设备将按制造者的推荐定期校准。包括示波器、电流传感器和高压电阻负载。最大的校准间隔时间为一年。校准将根据国家标准进行，如美国的国家标准技术学会（NEST）标准或可参照的国际标准。
6.2 测试器鉴定和再鉴定
HBM ESD 测试器的最初鉴定，如同ESD测试器被交货或第一次使用时的验收测试一样，应按照第7节执行。
HBM ESD测试器的再鉴定，应按照第7.1节的描述和制造者的推荐执行。全部再鉴定测试的最大间隔时间是一年。
修理或者维护之后可能影响波形,应按第7.3节运行测试器验证.使用最高引脚数的带有一个肯定夹紧插座的测试固定板,来验证波形。对全部其他的测试固定板,当它们在使用时,将按第8.1.2节被例行检查。
注1：一个肯定夹紧的测试插座，具有一个零插入力（ZIF）插座和一个夹紧机构。它允许短路线容易进入插座并被夹紧。例子是双列直插式管壳（DIP）零插入力插座和网格插（PGA）零插入力插座。
6.3 测试器波形记录
6.3.1 测试器波形记录：新的设备在测试器最初鉴定程序进行的时候，记录正和负的波形（使用相片或数字化波形）。使用在第7.2节规定的电压级别，按第7.1节测试每个插座。保留小型记录直到下一次校准，或由内部的记录保管规程指定保留时间。
6.3.2 测试器波形记录:旧的设备记录正和负的波形,按第7.1节所规定,使用短路电线 和500欧姆的负荷电阻,使用最高引脚数的带有一个肯定夹紧插座的测试固定件,按设备制造者所推荐的时间或在每年的校准周期期间运行这些测试.保留波形记录直到下一次校准,或由内部的记录保管规程指定保留时间。
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