日月光订购SUSS MicroTec多套光刻设备 应用于先进封装工艺

　　订单内容包括数套掩膜套准光刻机（Mask Aligner）及涂胶烘烤显影光刻模组（Lithography Cluster），所订购设备将安装在日月光高雄（ASE Kaohsiung）的WLP及redistribution工艺工厂中。

　　ASE Kaohsiung先进封装运营部副总裁D.Y. Chen表示，为实现更先进的半导体封装工艺，必须依靠高良率高产量并极具成本效益的设备。显然，SUSS光刻设备完全满足了ASE的条件。

　　SUSS并没有透露订单金额，但是公司表示数额“可观”。