| 在半导体设备领域，几乎是国外大公司的天下，而随着国外二手设备在中国的“触礁”以及太阳能电池产业的迅速兴起，给国内半导体设备厂商带来了机会。国产设备应从中低端突破在高端设备领域，国内厂商在技术上无法与国外厂商同台竞技，而且随着关税的逐步降低，以往的价格优势也在逐步缩小。但在技术差距不大的中低端市场，通过市场细分，大部分国内生产商拥有稳定的客户群，而且市场优势也相对明显。中国电子科技集团公司第四十五研究所市场部主任胡保平对国产半导体设备所具有的优势进行了诠释，他说，价格方面，在同等的技术水平下，国产设备价格通常不到进口设备的1/2，高性价比及高资金回报率吸引了国内大部分采购商；在地域上，接近市场，既有利于售前技术交流及与工艺单位的密切配合，为用户量身定做产品，也有利于售后的维修服务和长远的零部件供应；在服务上，市场的磨砺使国内生产商逐渐成熟，从市场导向到用户导向，从“价格赢人”到“服务留人”，本土企业服务观念的转变极大提升了国内用户对使用国产设备的信心。
事实上，国产半导体设备从中低端突破已经在业内达成共识。北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备。从一定意义上说，后者更有率先实现突破的条件，因为多年来我们沉淀了雄厚的技术，又有广泛的客户基础。
其本身的技术难度也相对于曝光、刻蚀和离子注入等关键设备要稍微小一些，又是IC线上所用的数量巨大的设备类型。他强调说，国家及企业在这几个产品领域应加强力量投入，这几种设备的大规模产业化所需要的资源应该要比其他几项要少得多，实现突破的前景更美好。
中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长王俊朝表示，IC产业的中低端设备、太阳能电池制造设备、LED及LCD部分前工序关键设备和后工序设备等国产设备已有良好基础的领域依然是国产设备应选择的市场突破点。离子注入机、刻蚀机、光刻机、MOCVD等关键设备应是国产设备选择的技术突破点。
太阳能电池设备占半壁江山由于国外太阳能电池需求的猛增，使国内太阳能电池产业也呈跳跃式发展，因此极大地促进了以太阳能电池片为主的半导体设备的增长，使其成为今年半导体设备的主要组成部分。据中国半导体设备工业协会统计，今年上半年太阳能电池设备的销售额已经达到3亿元，已经占到半导体设备销售额的一半以上。中国电子专用设备工业协会秘书长金存忠表示，由于国产半导体设备很难进入大的集成电路生产线，因此，企业为了生存，只能寻找有市场前景的产品。太阳能电池设备价格比较低，国外厂商不好介入，而且其技术难度要比IC设备小得多，加之国内市场的驱动，因此，目前太阳能电池设备有广阔的市场前景，七星华创、中电科技集团第48所等国内知名半导体设备生产单位都已在这个领域取得不俗业绩。
王俊朝告诉中国电子报记者，自2002年开始，通过和一流企业合作并引进先进的工艺技术，历经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池片关键生产设备，如制绒机、硅片清洗机、8英寸扩散炉、刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、烧结炉、丝网制刷机等相继在国内大生产线上替代了进口设备，并取得广泛应用。特别是2003年七星华创以及2004年中国电子科技集团公司第48研究所研制成功的电池片制造用最关键设备之一———热壁式生产型PECVD设备，使我国设备业已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力。 |
