近年来，我国半导体设备企业不断开拓创新，为国内IC产业的飞速发展添砖加瓦，尤其是北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司和北京中科信电子装备有限公司成功研制出100纳米半导体设备，并顺利进入中芯国际生产线，再次印证了唯有创新才是半导体设备企业发展的根本。
半导体设备业需要创新
半导体产业发展遵循“摩尔定律”，其显著的特点就是更新换代快，因此对其进行支撑的设备制造业更需要加快研究进程来满足它。
北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙在接受《中国电子报》记者采访时表示，半导体设备的发展本身就是技术创新的过程，IC以“摩尔定律”高速发展，其实其背后是以设备的创新和发展做支撑的，新的工艺技术总是用新一代设备实现的。
中电科技集团公司第45研究所副所长王志越表示，创新对于半导体设备企业非常重要。当前半导体设备的最大特点是不仅仅提供硬件设备本身，而是承担了包括工艺菜单、工艺控制及工艺集成的总体解决方案。也就是说设备是来自于工艺，通过创新和工艺物化，又回归于工艺。所以对于半导体设备企业来说，“创新是赖以生存的基础，是企业不断发展的保障”，没有创新的半导体设备企业不可能生存。
北京京联发数控科技有限公司董事长秦建国告诉记者，创新给半导体企业带来更好的活力、更高的效益，企业有了创新的产品及创新的技术就会在激烈的市场竞争中得到更快更好的发展，现在中国电子行业与国外电子同行相比，主要是技术、设备的落后，引进新的技术、设备是国内电子行业发展的一个重要办法，而更重要的是要中国电子专用设备的生产制造商能自主研发、生产出更好的新产品，为中国电子行业的发展提供一个良好的平台。
保持源源不断创新能力
创新是一项系统工程，企业要想在市场上拥有一席之地，必须具有源源不断的创新能力，并不断将其创新产品推向市场。国内半导体设备企业要想在被国外企业一统天下的设备领域有所作为，不断创新是明智之举。
王志越表示，首先，要建立起以分配机制为主的有效激励的创新机制，贯彻落实国家有关科研成果、知识产权等要素全面参与分配精神。其次，要积极培育企业的创新能力，要着重从企业决策机制、资源有效整合、科学管理、研发经费投入等等方面不断完善和提高，逐步使企业在基础环节上具备创新与腾飞的本领。第三，“不拘一格降人才”，建立一支强大的创新团队。第四，不能把自主创新同引进技术对立起来。自主开发并不意味故步自封。没有一个国家能包揽所有源技术的开发，必须互相借鉴。现在，我们国家大部分行业在自我测评时都认为同发达国家的差距在10年-20年左右。不引进技术，*自己关起门来埋头苦干是不行的。在大多数产业中，我们还必须站在别人的肩膀上前进。此外国产化并不意味着所有的零部件都必须要国内制造。在当今经济全球化的环境下，关键是拥有核心技术的知识产权。
秦建国告诉记者，企业要保持不断的创新，首先应认识到创新给企业带来的发展后劲，发展要依*开拓创新，创新产品要有三个方面支持：第一要有研发人员；第二要有资金支持；第三要有市场的需求。没有人才就无法创新，没有资金的支持也就谈不上创新，市场是创新产品的目的。要使企业不断地推出创新产品，就要结合人才、资金、市场三方面，这样才能使企业不断地发展壮大，一个好的创新方式会使企业得到很好的回报。
北京中科信电子装备有限公司副总经理孙勇表示，企业是创新的主体，企业只有在不断的创新中才不会步入衰退期。这就要求具有适应社会各种变化能力的研发团队，营造创新的组织与文化精神。在创新的氛围下，创新才有动力，企业才有核心竞争力，才能立于不败之地。此外，企业应整合各种社会资源，不关起门来搞创新，必须建立开放式的创新平台，吸纳和整合各种资源，形成一个创新集群，一切为我所用，提高创新质量。
初尝创新甜果
在不断创新动力的推动下，国内半导体设备企业取得一个又一个成果，他们或是从现有设备出发，努力开拓新应用领域；或是面对全新的技术及工艺，让国产设备用在国内IC大生产线；或是不断改进产品性能，最终替代进口产品。
盛金龙告诉记者，他们在研制新设备的同时，不断使用新的技 |
