| 经过一年多的建设，年产15000吨的我国首个超净高纯微电子化学品项目9月8日在上海华谊微电子材料有限公司建成投产。项目包括了大规模集成电路制造所需的超净高纯硫酸、硝酸、盐酸、醋酸、氨水、氢氧化铵、双氧水等各种主要化学品，改变了国内此类产品完全依赖进口的状况。
超净高纯试剂在国际上称为工艺化学品，是超大规模集成电路(IC)制作过程中的关键性基础化工材料之一，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。由于生产制造工艺复杂，生产设备材质必须使用及其昂贵的特殊专用材料，投资成本大，管理要求高，此前全球只有少数几家企业能够生产。
上海华谊集团公司在“十五”期间承担了国家“863”重大专项课题，研究开发集成电路用的超纯试剂。在产业化的过程中与台湾的联仕公司成立合资公司———上海华谊微电子材料有限公司，建设15000吨/年规模的超净高纯试剂生产线。该生产线不仅是国内首套生产设施，而且打破了世界上微电子化学品产业链割裂的状况，把传统的化学品纯化、包装、售后服务等产业链的各个环节一体化，有利于对客户的需求做出及时反应，降低成本，提高微电子化学品产业链的整体运行效率。该项目已经受到了国内外著名的超大规模集成电路制造商的关注，并初步形成了一些供货意向。 |
